| バルブ方式 | 比例ソレノイドバルブ |
|---|---|
| バルブ形式 | 非通電時－閉(N.C.) |
| 標準対応ガス種類 | 酸素、亜酸化窒素、空気 |
標準フルスケール 流量 | 12.00L/min |
| 流量制御 | 制御範囲：2~100%F.S.(0.20~12.00L/min) 応答性：設定±2%F.S.に2.0s以内 精度：±5.0%R.D.(6.00<Q≦12.00L/min) ±3.0%F.S.(0.20<Q≦6.00L/min) 再現性：±1.5%F.S. |
| 圧力 | 動作差圧範囲：0.15~0.3MPaG 耐圧：0.3MPaG(但し、ﾌﾛｰｾﾝｻｰ部は.0.05MpaG) |
| 許容動作温度範囲 | 0～50℃ |
| 許容動作湿度範囲 | 30~85%RH(結露なきこと) |
| 流量設定 | 設定分解能：0.01L/min 入力電圧範囲：DC 0~5V |
| 通信方式 | RS232C通信(TTLレベル） |
| コネクタ接続 | ベースポスト：SM05B-PASS(JST) 接続：ハウジング PAP-05-S(JST) コンタクト SPHD-002T-P0.5(JST) |
| 接ガス部材質 | PBT、ステンレス、黄銅、フッ素ゴム、 シリコン(センサー部) |
| 接続ポート | IN側：φ6、OUT側：φ8 |
| 取付姿勢 | 自由 |
| 質量 | 約200g |
