比例制御ソレノイドバルブ
Proportional Solenoid Valves
製品紹介
出力流量を自由自在に制御する用途向けに設計されたソレノイドバルブです。一般的なON/OFF電磁弁ではできない、弁閉から弁全開（0～100％）までの流量域を入力電流値に比例した流量出力ができます。
手動バルブで流量調整していた工程を自動化可能です。
半導体、医療、一般産業業界など様々な分野で採用実績があります。
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高精度です。
制御電流値の分解能が高く、高精度な流量調整が可能です。
また、弁体部を含む駆動部が摺動レス構造であるため、流量の乱れが少なく、長寿命です。
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クリーンルーム製造です。
接ガス部品は禁油処理を行い、クリーンルームで製造を行いますので低パーティクルでクリーンなバルブです。
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配管接手方法は柔軟に対応可能です。
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特殊仕様にも対応いたします。
お客様の設計に合わせた形状、特性にカスタム対応いたします。
シリーズ一覧
小型比例ソレノイドバルブPSV-03Tシリーズ
- 幅18㎜の小型タイプ、省スペースに取り付け可能
- 弁体はPTFEを採用
- ボディタイプとマニホールドタイプを選択可能
用途例
- マスフローコントローラーのガス制御弁
- 麻酔器/呼吸器/酸素濃縮器/ガスバーナー/環境・計測機器の制御弁
| シリーズ | 定格電圧 | 弁形式 | Cv値 （Air） |
ｵﾘﾌｨｽ径 (mm) |
標準 流量 |
動作差圧範囲 (MPaG) |
資料 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PSV-03T-002 | 24V | 常時閉(N.C.) | 0.007 | 0.7 | 2L/min | 0.05～0.5 | |
| PSV-03T-005 | 24V | 常時閉(N.C.) | 0.018 | 1.5 | 5L/min | 0.05～0.5 | |
| PSV-03T-030 | 24V | 常時閉(N.C.) | 0.109 | 3.6 | 30L/min | 0.1～0.3 |
小型大流量比例ソレノイドバルブPSV-200Tシリーズ
- 高圧環境の制御分解能が低下しにくい構造の採用により安定した流量制御が可能
- 小型ながら200L/minの流量制御が可能
用途例
- マスフローコントローラーのガス制御弁
- 麻酔器/呼吸器/酸素濃縮器/ガスバーナー/環境・計測機器の制御弁
| シリーズ | 定格電圧 | 弁形式 | Cv値 （Air） |
ｵﾘﾌｨｽ径 (mm) |
標準 流量 |
動作差圧範囲 (MPaG) |
資料 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PSV-212T | 12V | 常時閉(N.C.) | 0.26 | 7.4 | 150L/min | 0.2～0.5 |
製品特長
電流に比例した流量を出力
- コントローラーの電流値を増減することで、流量を無段階に増減調整することができます。
- 標準流量でCv値を算出しており、バルブ自体は標準流量よりも多い「最大流量」まで出力が可能です。その為、連続使用時に出力流量が低下する心配がありません。
駆動部が摺動しない高精度・長寿命構造
- 弁体を含む駆動部が、板ばね①②によって上下を支持されているため、摺動部がありません。
そのため制御時のふらつき、流量変化が発生しにくく、摺動による劣化がないため長寿命です。 - 特許取得の高吸引力構造を採用することで安定した比例特性を確保可能で、小さなソレノイドで大きな流量を制御可能です。
- 弁体はPTFE材を採用し、高耐食性です。
また、ゴム材の弁体で起こる、弁体と弁座の固着が発生しない為、安定して使用可能です。