比例制御ソレノイドバルブ
Proportional Solenoid Valves

製品紹介

出力流量を自由自在に制御する用途向けに設計されたソレノイドバルブです。一般的なON/OFF電磁弁ではできない、弁閉から弁全開（0～100％）までの流量域を入力電流値に比例した流量出力ができます。

手動バルブで流量調整していた工程を自動化可能です。

半導体、医療、一般産業業界など様々な分野で採用実績があります。


  1. 高精度です。

    制御電流値の分解能が高く、高精度な流量調整が可能です。

    また、弁体部を含む駆動部が摺動レス構造であるため、流量の乱れが少なく、長寿命です。

  2. クリーンルーム製造です。

    接ガス部品は禁油処理を行い、クリーンルームで製造を行いますので低パーティクルでクリーンなバルブです。

  3. 配管接手方法は柔軟に対応可能です。

  4. 特殊仕様にも対応いたします。

    お客様の設計に合わせた形状、特性にカスタム対応いたします。

比例ソレノイドバルブとは

シリーズ一覧

超小型比例ソレノイドバルブPSV-01T

  • 小型かつ軽量な設計｜15.8×18×高さ48mm、重量70g
  • 低シートリーク仕様

用途例

  • ガスクロマトグラフ、質量分析装置、環境ガス計測装置、ライフサイエンス装置などの分析装置
  • 酸素濃縮装置、麻酔器、ポータブル医療機器などの流量・圧力の制御
シリーズ 定格電圧 弁形式 Cv値
（Air）		 ｵﾘﾌｨｽ径
(mm)		 動作差圧範囲
(MPaG)  		 資料
PSV-01T 24V 常時閉(N.C.) 0.03 1.2 ～0.35
2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）

小型比例ソレノイドバルブPSV-03Tシリーズ

  • 幅18㎜の小型タイプ、省スペースに取り付け可能
  • 弁体はPTFEを採用
  • ボディタイプとマニホールドタイプを選択可能

用途例

  • マスフローコントローラーのガス制御弁
  • 麻酔器/呼吸器/酸素濃縮器/ガスバーナー/環境・計測機器の制御弁
動画
シリーズ 定格電圧 弁形式 Cv値
（Air）		 ｵﾘﾌｨｽ径
(mm)		 標準
流量		 動作差圧範囲
(MPaG)  		 資料
PSV-03T-002 24V 常時閉(N.C.) 0.007 0.7 2L/min 0.05～0.5
カタログ 2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）
PSV-03T-005 24V 常時閉(N.C.) 0.018 1.5 5L/min 0.05～0.5
カタログ 2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）
PSV-03T-030 24V 常時閉(N.C.) 0.109 3.6 30L/min 0.1～0.3
カタログ 2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）

小型大流量比例ソレノイドバルブPSV-200Tシリーズ

  • 高圧環境の制御分解能が低下しにくい構造の採用により安定した流量制御が可能
  • 小型ながら200L/minの流量制御が可能

用途例

  • マスフローコントローラーのガス制御弁
  • 麻酔器/呼吸器/酸素濃縮器/ガスバーナー/環境・計測機器の制御弁
シリーズ 定格電圧 弁形式 Cv値
（Air）		 ｵﾘﾌｨｽ径
(mm)		 標準
流量		 差圧範囲
(MPaG)  		 資料
PSV-212T 12V 常時閉(N.C.) 0.26 7.4 150L/min 0.2～0.5
カタログ 2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）

比例制御基板

  • 比例制御弁専用のPWM制御基板
  • 比例制御弁とセンサを接続することで入力信号に合わせた流量の自動制御が可能
  • 装置内へコンパクトに設置できる基板タイプと、ケースに基板が収納された2タイプから選択可能

用途例

  • 比較弁をPWM制御し、流量や圧力の自動制御
  • N2パージ用バルブ制御
シリーズ 定格電圧 待機電力 インターフェース バルブ用 出力電流 使用温度 資料
PBCS000 DC12～24V 1W以下 アナログ：0～5V
デジタル：RS485
終端抵抗：120Ω		 PWM
（8kHz）		 最大2A 5～50℃
2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）

製品特長

電流に比例した流量を出力

  • コントローラーの電流値を増減することで、流量を無段階に増減調整することができます。
  • 標準流量でCv値を算出しており、バルブ自体は標準流量よりも多い「最大流量」まで出力が可能です。その為、連続使用時に出力流量が低下する心配がありません。

駆動部が摺動しない高精度・長寿命構造

  • 弁体を含む駆動部が、板ばね①②によって上下を支持されているため、摺動部がありません。
    そのため制御時のふらつき、流量変化が発生しにくく、摺動による劣化がないため長寿命です。
  • 特許取得の高吸引力構造を採用することで安定した比例特性を確保可能で、小さなソレノイドで大きな流量を制御可能です。
  • 弁体はPTFE材を採用し、高耐食性です。
    また、ゴム材の弁体で起こる、弁体と弁座の固着が発生しない為、安定して使用可能です。