小型流量コントローラー
Compact Mass Flow Controllers
製品紹介
指定流量値に合わせた流量出力が可能です。使用圧力や環境温度の変化に出力流量が影響を受けず、高精度で流量の制御が可能です。
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信頼性の高いシステムを低コストで実現。
比例ソレノイドバルブに、流量センサーによる計測とコントローラーを加え、高い信頼性と低コスト化を実現しました。
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小型・軽量で限られたスペースに最適。
小型の比例電磁弁、流量センサー、コントローラーが内蔵されており、別々に設置した場合と比較し、軽量(約200g)でコンパクトです。
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高速・高精度の流量コントロールを実現。
内蔵された比例ソレノイドバルブと流量センサにより、全ての流量域において2秒以内(±5%F.S.)に安定した流量コントロールを行います。
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特殊仕様にも対応いたします。
お客様の設計に合わせた形状、特性にカスタム対応いたします。

シリーズ一覧
超音波流量コントローラーUMFCシリーズ

- 1台で流量制御と濃度計測が可能
- 小型・軽量で限られたスペースに最適
- 部品点数とコストの削減を実現
- カスタムに対応可能(使用ガスに合わせたCFを設定)
用途例
- 酸素濃縮器、麻酔器、呼吸器、炭酸ガス気腹装置の医療用ガス流量制御
シリーズ | 弁形式 | 定格 電圧 |
F.S流量 | 使用圧力範囲 | 通信 方法 |
流量 分解能 |
資料 |
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UMFC-0005 | 常時閉(N.C.) | 24V | 5L/min | 50~200kPaG | シリアル | 0.05L/min |
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小型流量コントローラーSMFCシリーズ
製品特長
バルブ、センサー、コントローラーがオールインワン

- 小型の比例電磁弁、流量センサー、コントローラーが内蔵されており、別々に設置した場合と比較し、軽量(約200g)でコンパクトです。
さらに減圧弁を加えるなどの、小型化、コストダウン設計も可能です。
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流量コントロール

- 設定流量を入力すると、その流量に合わせて出力します。設定流量に到達するまでの応答時間は2秒以下です。また出力流量の制御精度は、設定流量に対して5%以下です。
- 圧力や温度が変わっても出力流量を維持できます。長時間同じ流量を流したい場合や、流量を段階的に変更しながら出力したい場合に最適です