小型流量コントローラー
Compact Mass Flow Controllers

製品紹介

指定流量値に合わせた流量出力が可能です。使用圧力や環境温度の変化に出力流量が影響を受けず、高精度で流量の制御が可能です。


  1. 信頼性の高いシステムを低コストで実現。

    比例ソレノイドバルブに、流量センサーによる計測とコントローラーを加え、高い信頼性と低コスト化を実現しました。

  2. 小型・軽量で限られたスペースに最適。

    小型の比例電磁弁、流量センサー、コントローラーが内蔵されており、別々に設置した場合と比較し、軽量(約200g)でコンパクトです。

  3. 高速・高精度の流量コントロールを実現。

    内蔵された比例ソレノイドバルブと流量センサにより、全ての流量域において2秒以内(±5%F.S.)に安定した流量コントロールを行います。

  4. 特殊仕様にも対応いたします。

    お客様の設計に合わせた形状、特性にカスタム対応いたします。

製品特長

シリーズ一覧

小型流量コントローラーSMFCシリーズ

  • 最低限の機能に限定した樹脂ボディーのローコストタイプ
  • 小型・軽量で狭いスペースの取付に最適
  • カスタムに対応可能

用途例

  • 分析・環境計測機器のガスの流量制御
  • 麻酔器、酸素濃縮器のガスの流量制御
シリーズ 弁形式 定格
電圧		 F.S流量 使用圧力範囲 通信
方法		 流量
分解能		 資料
SMFC-0005 常時閉(N.C.) 12V 5L/min 50～200kPaG シリアル 0.01L/min
カタログ 2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）
SMFC-0020 常時閉(N.C.) 12V 20L/min 150～300kPaG シリアル 0.01L/min
カタログ 2D CAD（DXF） 3D CAD（STEP）

製品特長

バルブ、センサー、コントローラーがオールインワン


  • 小型の比例電磁弁、流量センサー、コントローラーが内蔵されており、別々に設置した場合と比較し、軽量(約200g)でコンパクトです。

    さらに減圧弁を加えるなどの、小型化、コストダウン設計も可能です。
    ご相談ください

流量コントロール

  • 設定流量を入力すると、その流量に合わせて出力します。設定流量に到達するまでの応答時間は2秒以下です。また出力流量の制御精度は、設定流量に対して5％以下です。
  • 圧力や温度が変わっても出力流量を維持できます。長時間同じ流量を流したい場合や、流量を段階的に変更しながら出力したい場合に最適です