| 型番 | SMFC-0005 | SMFC-0020 | |
|---|---|---|---|
| バルブ形式 | 直動ソレノイドバルブ | ||
| 弁形式 | 常時閉(N.C.) | ||
| 使用流体 | 窒素、空気、酸素 | ||
| 使用流体温度 | 0 ～ 50℃ | ||
| 定格電圧 | 12V | ||
| フルスケール流量 | 5L/min | 20L/min | |
| 制御 流量範囲 (Air) |
制御範囲 | 4~100%F.S. (0.2~5L/min) | 2~100%F.S. (0.4~20L/min) |
| 応答性 | 設定流量±2％F.S.に2秒以内 | ||
| 流量 制御精度 (at20℃) |
±5.0%R.D. (2＜Q≦5L/min) ±3.0%F.S.(0.2＜Q≦2L/min) | ±5.0%R.D. (10＜Q≦20L/min) ±3.0%F.S.(0.4＜Q≦10L/min) | |
| 再現性 | ±1.5%F.S. | ||
| 圧力 | 動作 差圧範囲 |
0.05～0.2MPaG | 0.15～0.3MPaG |
| 耐圧 | 0.3MPaG 但し、ﾌﾛｰｾﾝｻｰ部は0.05MpaG |
||
| 許容動作温度範囲 | 5 ～ 50℃ | ||
| 許容動作湿度範囲 | 30 ～ 85%RH(結露なきこと) | ||
| 流量設定 (選択) |
ｱﾅﾛｸﾞ入力 | 入力範囲 1~5V | |
| ｼﾘｱﾙ通信 | RS232C | ||
| 設定分解能 |
0.01L/min | ||
| 接続 コネクタ |
ﾍﾞｰｽﾎﾟｽﾄ | S10B-PH(JST) | |
| ﾊｳｼﾞﾝｸﾞ | PHR-10(JST) | ||
| ｺﾝﾀｸﾄ | SPH-002T-P0.5(JST) | ||
| バルブ接ガス部材質 | PPS、ステンレス、フッ素ゴム、 黄銅、シリコン(センサー部) |
||
| 接続ポート | IN：φ4又はφ6 OUT：φ4又はφ6 | ||
| 取付方向 | 自在 | ||
| 重量 | 約200g | ||
