| 型番 | UMFC-0005 | ||
|---|---|---|---|
| センサータイプ | 超音波方式 | ||
| バルブ形式 | 直動ソレノイドバルブ | ||
| 弁形式 | 常時閉(N.C.) | ||
| 使用流体 | 窒素、空気、酸素 | ||
| 使用流体温度 | 0 ～ 50℃ | ||
| 定格電圧 | 24V | ||
| フルスケール流量 | 5L/min | ||
| 制御 流量範囲 (Air) |
制御範囲 | 4~100%F.S. (0.2~5L/min) |
|
| 応答性 | 設定流量±2％F.S.に5秒以内 | ||
| 流量 制御精度 (at20℃) |
±2.0%R.D. (0.2≦Q≦1.25L/min) ±3.0%F.S.(1.25＜Q≦3L/min) ±5%F.S.(3＜Q≦5L/min) |
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| 再現性 | ±1.5%F.S. | ||
| 濃度 | 計測 範囲 |
75～100％ | |
| 計測 精度 |
±4% | ||
| 再現性 | ±1.5% | ||
| 圧力 | 動作 差圧範囲 |
0.05～0.2MPaG | |
| 耐圧 | 0.3MPaG | ||
| 精度保証温度範囲 | 10 ～ 40℃ | ||
| 許容動作温度範囲 | 0 ～ 50℃ | ||
| 許容動作湿度範囲 | 30 ～ 85%RH(結露なきこと) | ||
| 流量設定 (選択) |
ｱﾅﾛｸﾞ入力 | 入力範囲 1~5V | |
| ｼﾘｱﾙ通信 | 調歩同期式シリアル（UART） | ||
| 設定分解能 |
0.05L/min | ||
| 接続 コネクタ |
ﾍﾞｰｽﾎﾟｽﾄ | BM08B-GHS-TBT(JST) | |
| ﾊｳｼﾞﾝｸﾞ | GHR-08V | ||
| ｺﾝﾀｸﾄ | SSHL-002T-P0.2 | ||
| バルブ接ガス部材質 | PPS、ステンレス、フッ素ゴム、 黄銅 |
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| 接続ポート | IN：φ6 OUT：φ6 | ||
| 取付方向 | 自在 | ||
| 重量 | 約110g | ||
