【実用例】

◆選定のポイント

ナノメートルの微細加工を行う半導体製造装置においては、温度、圧力、ガス濃度といったプロセスパラメータの厳密な制御が不可欠です。
比例制御ソレノイドバルブは、小流量から大流量まで正確に流量調節ができ、精密なプロセス制御や高純度な流体制御に貢献します。

◆推奨商品：比例制御ソレノイドバルブ

腐食性ガスの流量・圧力制御

PSV-09P

パージ・キャリアガスの流量・圧力制御

PSV-03T PSV-212T

◆活用例

• 成膜装置
• エッチング装置
• 蒸着装置
• 封止/ラミネート装置
• 拡散・焼成装置

【実用例】

◆選定のポイント

半導体搬送装置は、製造工程中のウェハを安全に搬送する装置で、窒素ガスパージにて、ウエハを不純物や酸化から守ります。
比例制御ソレノイドバルブは、パージガスの流量や圧力を精密に制御し、信頼性の高いウエハ搬送に貢献します。

◆推奨商品：比例制御ソレノイドバルブ

空気/窒素ガスの流量・圧力制御

PSV-03T PSV-212T

◆活用例

• FOUP内圧制御
• 真空チャック圧制御
• 空圧アクチュエーター制御

【実用例】

◆選定のポイント

マスフローコントローラーは、半導体製造工程で使用されるガスの流量を高精度に制御する装置です。比例制御ソレノイドバルブは、電気信号によってバルブ開度を連続的に調整し、目標流量にすばやく到達して安定させる役割を果たします。

◆推奨商品：比例制御ソレノイドバルブ

メタルシール仕様

PSV-09P

ラバーシール仕様

PSV-03T PSV-212T

◆活用例

• マスフローコントローラー（MFC）
• 圧力コントローラー（APC）