TMPCシリーズは、比例バルブ・圧力センサ・制御回路を一体化した装置組み込み型の圧力コントローラーです。配管やチャンバー内の圧力を設定値に自動で維持します。W40×D23×H71mm・約100gの小型・軽量で、油分レス・クリーンルーム生産のクリーン仕様です。
供給圧を制御する供給圧制御タイプ（TMPC-000GS）と、排気側を制御する排気圧制御タイプ（TMPC-000GE）をご用意。制御信号・圧力信号はアナログ（0～5V／1～5V）とRS485の両方に対応し、FS圧力（100～600kPa）や応答特性などのカスタム対応も承ります。
対象流体気体（N2、Air、Ar、O2、CO2）
| 型番 | TMPC-000GX | |
|---|---|---|
| 制御仕様 | FS圧力／対応レンジ | Max600kPa |
| 制御範囲 | 0.5～100%FS | |
| 分解能 | 0.1kPa | |
| 制御精度 | ±1%FS | |
| 計測精度 | ±1.5%FS | |
| 繰り返し性 | ±1%FS | |
| 制御応答時間 | Δ25kPaで約1s （カスタムorユーザー調整可） |
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| 標準仕様 | 使用流体 | 非腐食性気体 |
| 接ガス部材質 | SUS316L/真鍮/電磁SUS/FKM/アルミ | |
| 耐圧力 | 1.0MPaG | |
| センサ破壊圧 | FSの3倍 | |
| 使用周囲温度 | 0～60℃ （精度保証温度 5～50℃） |
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| 相対湿度範囲 | 45～85%RH（結露なきこと） | |
| バルブ形式 | ノーマルクローズ（N.C.） | |
| 取付姿勢 | 水平 | |
| 取付穴 | M3ねじ 深さ5mm 2か所 | |
| 外形寸法 | W40 × D23 × H71 mm （詳細は外形寸法図参照） |
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| 質量 | 約100g | |
| 接続口径 | M5 | |
| 電気仕様 | 電源（定格電圧） | DC 24V ±10% |
| 消費電力 | 待機 1W以下 ／ 消費 6W以下 | |
| デジタル通信 | RS485 | |
| アナログ入出力 | 0～5V 1～5V | |
| 電気接続コネクタ | S10B-PADSS(JST) | |
配管やチャンバー内の圧力を設定値に自動で維持するための制御機器です。
圧力センサーからの信号を圧力設定信号と比較し、比例弁開度量をPWM制御で調整することで圧力を一定に保ちます。
下流圧制御供給圧を制御して、チャンバーの圧力を一定にした場合
→ 供給圧制御タイプ（TMPC-000GS）
上流圧制御排気側を制御して、チャンバーの圧力を一定にした場合
→ 排気圧制御タイプ（TMPC-000GE）
| TMPCシリーズ名 | 000FS圧力（kPa） 100～600 |
Gゲージ圧 | XS＝供給タイプ E＝排気タイプ |
例：TMPC-200GS（FS圧力200kPa・供給圧制御タイプ）
