装置組込み型の圧力コントローラー「TMPCシリーズ」を発売いたします。本製品は比例バルブ・圧力センサ・制御回路を一体化し、配管やチャンバー内の圧力を設定値に自動で維持します。W40×D23×H71mm・約100gの小型・軽量設計で、各種装置への組込みに最適です。

背景と概要

タカノでは、比例電磁弁や小型流量コントローラーなど、ガスの流量制御に向けた流体制御機器を展開しています（参照URL：https://www.takano-sanki21.com/sanki/products/Compact-Mass-Flow-Controller/）。このたび発表する「TMPCシリーズ」は、比例弁のPWM制御技術を圧力制御に活かした製品です。圧力センサの信号を設定値と比較し、比例弁の開度を自動で調整することで、圧力を一定に保ちます。対象流体はN2、Air、Ar、O2、CO2などの非腐食性気体です。

「圧力コントローラー」　型式：TMPC-000GX

供給圧制御タイプ（TMPC-000GS）の構成例

排気圧制御タイプ（TMPC-000GE）の構成例

URL：https://www.takano-sanki21.com/sanki/products/pressure-controller/TMPC/

製品の特長

1. 装置組込みに最適な小型・軽量設計
   比例バルブ・圧力センサ・制御回路をW40×D23×H71mm・約100gに一体化。部品を個別に組み合わせる必要がなく、装置の省スペース化に貢献します。
2. 高分解能・高精度な圧力制御
   分解能0.1kPa、制御精度±1%FS。0.5～100%FSの幅広い範囲で設定圧力を維持します。
3. 用途に合わせて選べる2タイプ
   供給側を制御する「供給圧制御タイプ（TMPC-000GS）」と、排気側を制御する「排気圧制御タイプ（TMPC-000GE）」をご用意。装置の構成に合わせてお選びいただけます。
4. アナログ・デジタル両対応
   アナログ（0～5V／1～5V）とRS485の両方に対応し、既存装置の制御系にもスムーズに組み込めます。
5. クリーン仕様
   油分レス・クリーンルーム生産のため、分析機器や半導体製造装置など、クリーンな環境が求められる用途にもお使いいただけます。
6. カスタム対応
   FS圧力（100～600kPa）や応答特性など、お客様の装置に合わせたカスタマイズを承ります。

主な用途

• 分析機器（ガスクロマトグラフなど）のキャリアガス・供給ガスの圧力制御
• 半導体製造装置、医療機器、ディスペンサーなどのガス圧力制御
• タンク・チャンバー内の圧力の一定化

導入メリット

• 省スペース化
  小型・一体型のため、装置内のスペースを有効活用できます。
• 設計・組立工数の削減
  バルブ・センサ・制御回路を個別に選定・配線・調整する手間が省けます。