タカノ株式会社で進めている「3次元計測に対する新しいアプローチ」として、 新技術の開発内容をお知らせいたします。

本技術は、干渉技術と分光解析技術を組み合わせた独自のアルゴリズムがベースとなっており、 インライン運用を可能にする高速測定と「VC-A」基準での測定を両立いたします。

振動によって設置環境が限られていた「ナノレベルの段差測定」の適用範囲が 広がることにより、研究開発の段階から製造現場での品質管理まで、 幅広い分野での活用が期待されます

●開発スペック

項目	値
空間分解能	□1 μm
高さ分解能	約 1 nm
視野範囲	□2.56 mm
スキャン時間	約 2 秒
計算処理時間	約 1 秒
設置環境	VC-A

詳細は以下のリンクよりご覧ください。

▼詳細ページはこちら
https://www.takano-net.co.jp/newtechnology/product/high-speed-nano-3d/