| 弁構造 | ダイヤフラム式直動ポペット |
|---|---|
| 弁形式 | N.C. |
| ポート数 | 3 |
| 使用流体 | 空気、水、脱イオン水(純水) 希釈液、洗浄液 |
| 使用流体圧力 | -75kPa～0.25MPa |
| 接続 | 内径φ2チューブ |
| オリフィス径 | 1.3mm |
| Cv値 | 0.03(水) |
| 応答時間 | 20ms以下(但し、空気圧時) |
| 漏れ量 | 内外部共に0(但し、水圧時) |
| 耐圧力 | 0.375Mpa |
| 使用周囲温度 | 0～50℃ |
| 使用流体温度 | 0～50℃(但し、凍結なきこと） |
| 弁室内容積 | 20μL以下 |
| 取付姿勢 | 自由 |
| 保護構造 | IP40相当 |
| 質量 | 85g |
| 定格電圧 | DC24V |
| 許容電圧変動 | 定格電圧の±10% |
| コイル絶縁種別 | クラスF(155℃) |
| 消費電力 | 起動：3W 保持：1W |
| 作動音 | 55dB以下 |
| 接液部材質 | 本体：PEEK ダイヤフラム：FKM |
