比例制御ソレノイドバルブ
最適な流れを創り、流体価値を最大化する
主要製品ラインナップ
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お問い合わせはこちら比例弁の個体差で歩留まりが上がらない
独自の流量調整工程で個体差を抑制
製品の特長はこちら温度や圧力の影響で流量が安定しない
比例弁+専用PWMコントローラーで安定した制御を実現
活用事例はこちらPSVシリーズの3つの特長
| Point1 「滑らかな比例駆動」 & 「低パーティクル」 | |
|---|---|
| 駆動部は上下2枚の板ばねでガイドされ、中央で支持されるため摺動がありません | |
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メリット
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摩耗が起こらず、繰り返し使用しても安定した流量特性を維持 摩耗粉が発生しないため、クリーン環境でも安心して使用可能 |
| Point2 「高分解能による精密制御」 | |
| 特許取得の独自吸引構造により、入力信号に対して高い分解能の比例特性を実現 | |
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メリット
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わずかな電気信号の変化にも応答し、微小流量や圧力の精密制御が可能 研究用途から量産装置まで、安定した高精度制御を提供 |
| Point3 「個体差を抑えた安定品質」 | |
| 全数を独自の調整工程で確認しながら流量特性を調整することで、個体差を最小化 | |
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メリット
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装置ごとの特性補正が不要となり、組込み・立ち上げ工数を削減 制御精度の向上により、装置品質のばらつきを防止 |
主要活用分野
「流量制御」と「圧力制御」が挙げられます。 流量や圧力は、元圧や周囲温度など様々な外乱要因で変化してしまいます。図のように、比例弁とセンサを配管し、電気制御するコントローラを接続することで、流量や圧力を設定信号に合わせて自在に制御することができます
半導体分野
微細加工には温度・圧力・ガス濃度の厳密な制御が不可欠です。比例弁は安定したプロセス制御を実現し、仕上り精度と歩留まり向上に貢献します。
分析分野
微量の試料や試薬を扱うため、流量のわずかな変動も測定結果に影響します。比例弁は高速かつ正確な制御で安定した環境を保ち、計測結果の信頼性を高めます。
医療分野
命に直結する用途において、比例弁はリアルタイム調整で患者の状態変化に即応。安定した流量と圧力を維持し、安全で確実な治療環境を支えます。
一般工業分野
クローズドループ制御と組み合わせることでヒューマンエラーを防ぎ、品質のばらつきを最小化。比例弁の精密な制御により、品質と効率の両立を実現します。
製品ラインナップ
超小型から大流量まで、用途に応じて最適なサイズをご提供。
すべての製品で摺動レス構造による高精度・長寿命を実現
PSV-01T
業界「最小」「最軽量」クラスの比例制御バルブ
エコノミーモデル
PSV-03T
小型SUS仕様
PSV-200T
小型かつ大流量制御用バルブ、200L/minクラスの流量制御に最適
PSV-09P
SEMIの高純度プロセス適材料で構成。接ガス部EP処理実施品
高精度な圧力/流量制御で安定プロセスを実現
比例制御基板
比例制御バルブの専用のPWMコントローラー
ケース付きとケースなしから選択可能
デジタル (RS485) 終端抵抗: 120Ω
(DC+24V バルブ抵抗: 約152Ωを接続した場合、0～5V信号で0～約150mA出力)
流体価値の最大化を今すぐ実現
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